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顆粒檢測儀

簡要描述:KLA-Tencor SFS6420 顆粒檢測儀是一種用于晶圓檢測和計量的系統(tǒng),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。該設(shè)備由KLA-Tencor公司生產(chǎn),具有多種功能和特點。
功能與應(yīng)用:
表面分析:SFS6420是一種多功能的表面分析工具,能夠檢測、計數(shù)和測量亞微米級顆粒,適用于多晶硅和鎢等粗糙表面。
缺陷檢測:該系統(tǒng)可以進行高分辨率的缺陷檢測,包括掩模對準(zhǔn)和覆蓋精度的檢測。

  • 產(chǎn)品型號:SFS6420
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新日期:2025-04-29
  • 訪  問  量:851

詳細介紹

KLA-Tencor SFS6420 顆粒檢測儀


產(chǎn)品概述

名稱:KSLA-Tencor SFS6420

制造商:KLA-Tencor

尺寸:8英寸

主要功能

粒子檢測與計數(shù)

用于檢測粗糙表面如多晶硅和鎢的亞微米粒子

提供比0.10 μm更優(yōu)敏感性的精細度

表面分析工具

設(shè)計用于滿足廣泛應(yīng)用的需求

利用最新光學(xué)技術(shù),易于在粗糙表面上檢測亞微米粒子的能力

高速自動化測試

能實時分析現(xiàn)場條件,適用于在線和離線應(yīng)用

每小時可運行500個晶圓的自動化測試能力

技術(shù)特點

多傳感器技術(shù)

提供創(chuàng)新的特性,如多傳感器技術(shù)

實時信息提供

通過統(tǒng)計分析和趨勢分析為用戶提供與產(chǎn)品質(zhì)量相關(guān)的實時信息

應(yīng)用領(lǐng)域

晶圓檢測系統(tǒng)

用于監(jiān)控裸硅晶圓及其表面粒子和缺陷

PCB ASSY BELOW WFR DET FOR SFS6420

與KLA-Tencor的其他設(shè)備兼容,用于PCB組裝板下的WFR檢測



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