KLA-Tencor Surfscan SP2 顆粒檢測(cè)儀

KLA-Tencor Surfscan SP2是一款先進(jìn)的掩模和晶圓檢測(cè)設(shè)備，廣泛應(yīng)用于集成電路(IC)制造過(guò)程中的缺陷檢測(cè)與分類(lèi)。該系統(tǒng)采用先進(jìn)的光學(xué)、電學(xué)和機(jī)械組件，能夠檢測(cè)并糾正各種類(lèi)型的掩模和晶圓上的缺陷。

Surfscan SP2使用專(zhuān)li技術(shù)和高精度成像技術(shù)，能夠在微觀水平上捕捉細(xì)節(jié)，并與參考模型進(jìn)行比較，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)掩模和晶片表面制造缺陷的可靠檢測(cè)和識(shí)別。其主要功能包括：

1. **高分辨率成像**：Surfscan SP2可以提供優(yōu)于掃描電子顯微鏡(SEM)模式的分辨率和精度，使其在缺陷檢測(cè)方面具有顯著優(yōu)勢(shì)。

2. **自動(dòng)化解決方案**：該系統(tǒng)設(shè)計(jì)為自動(dòng)化操作，能夠提高生產(chǎn)效率，每小時(shí)檢查更多的晶圓或在不損失吞吐量的情況下使用更高的靈敏度設(shè)置。

3. **多種檢測(cè)模式**：支持斜入射和平行入射分析，能夠計(jì)算出匹配SP2空間帶寬的“頻率匹配"粗糙度。

4. **兼容性與維護(hù)**：Surfscan SP2的部件如Z軸電機(jī)等都是高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)的，確保了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性。

此外，KLA-Tencor公司還推出了升級(jí)版的Surfscan SP2XP，進(jìn)一步提升了系統(tǒng)的性能和吞吐量，使工廠能夠更高效地進(jìn)行晶圓檢測(cè)。

總之，KLA-Tencor Surfscan SP2是一種高性能的晶圓檢測(cè)設(shè)備，通過(guò)先進(jìn)的成像技術(shù)和自動(dòng)化操作，為集成電路制造過(guò)程提供了可靠的缺陷檢測(cè)和分類(lèi)手段。